产品核心信息

TiC-T2533B2 碳化钛靶材

主体材料：碳化钛（TiC）纯度：99.5%规格：φ60×3mm碳化钛层复合结构：创新性绑定2mm高导铜背靶总厚度：≤5mm（符合主流设备安装标准）

蒂姆（北京）新材料科技有限公司匠心研制的这款碳化钛复合靶材，专为提升超硬涂层、耐磨薄膜及功能涂层领域的研究效率与工艺稳定性而设计。

产品设计理念：创新复合结构

“TiC+Cu背靶”双重复合优势

传统碳化硅等陶瓷靶材普遍存在 导电性差、散热不佳、易开裂 等工艺难题。本产品通过创新性的复合绑定技术，将3mm高纯TiC陶瓷层与2mm高导纯铜背板完美结合，实现了：

导电增强：铜背靶显著改善整体导电性，支持直流溅射模式，大幅提升工艺灵活性热管理优化：铜的优异导热性加速热量扩散，减少局部过热，避免靶材开裂机械强度提升：复合结构增强整体刚性，适于高功率、长周期溅射工艺安装兼容性：总厚度≤5mm，完美适配标准磁控溅射夹具，无需特殊改造

卓越的材料性能

碳化钛层的核心特性

超高硬度：显微硬度可达28-35 GPa，接近金刚石优异耐磨性：极低的摩擦系数，耐磨损寿命长良好化学稳定性：耐酸、耐氧化，高温性能稳定高熔点：约3160°C，适用于高温沉积环境

严格的质量控制

化学计量比精确：Ti/C比例严格控制，确保薄膜成分一致性高纯度保障：99.5%纯度，关键杂质元素受控致密均匀结构：采用先进粉末冶金工艺，孔隙率低，溅射速率稳定

核心应用场景

尖端工具涂层研发

切削刀具、钻头超硬涂层开发与性能测试模具表面耐磨强化涂层研究精密加工工具寿命提升方案探索

高性能耐磨防护领域

航空航天关键部件耐磨涂层汽车发动机零部件表面强化高端机械密封件低摩擦薄膜

特种功能薄膜创新

装饰镀膜领域（仿金、黑色等高端色泽）电子器件扩散阻挡层研究生物相容性硬质涂层医疗应用探索

科研与工艺优势

为研发效率赋能

即用型设计：开袋即用，无需额外处理或改装工艺窗口宽：良好的导热导电性使工艺参数更容易优化批次一致性强：确保长期研发项目的可重复性与数据可靠性

显著提升实验成功率

减少靶材裂纹风险：铜背靶有效分散热应力提高薄膜质量：稳定的溅射速率带来更均匀的薄膜沉积延长靶材寿命：高效散热防止局部烧蚀，材料利用率更高

技术规格详述

材料物理特性

碳化钛密度：4.93 g/cm³复合靶材总质量：精确计算，确保动平衡绑定强度：≥20 MPa，确保使用过程中不剥离表面粗糙度：Ra ≤ 1.0 μm，保证起辉平稳

工艺适配性

适配射频与直流溅射模式（得益于铜背靶）推荐溅射功率范围：提供详细工艺指南兼容多种衬底：钢、合金、硅片等

专业服务支持

我们理解硬质涂层研发对材料可靠性的严苛要求，为此提供：

工艺参数包：针对不同应用的基础溅射参数建议技术响应支持：使用过程中的问题快速解答定制化可行性：特殊尺寸、绑定方案的协商开发完整质量文件：每批次提供成分分析报告与性能检测数据

以材料创新，攻克工艺难题——蒂姆新材料致力于通过前瞻性的产品设计，为科研机构与企业研发部门提供更稳定、更高效、更耐用的靶材解决方案，共同推动表面工程与硬质涂层技术的进步。

蒂姆（北京）新材料科技有限公司专注解决研发中的实际材料挑战

欢迎工具涂层、耐磨技术、表面工程等领域的研究团队与工程师垂询试样与合作！